林巍

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：四川大学物理科学与技术学院微电子技术四川省重点实验室更多>>
发文主题：SI结构SIO2/SISIO重离子辐照重离子更多>>
发文领域：理学机械工程更多>>
发文期刊：《光散射学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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高k介质栅材料电子辐照下的红外研究
《光散射学报》2018年第4期379-383,共5页林巍 马瑶 石瑞英 傅廷 龚敏 
国家自然科学基金项目(2017YFB0405700)
本文研究了SiO_2/Si、SiNX/Si、Al_2O_3/Si这三种具有不同介电常数(k)栅介质材料结构在1.7 MeV电子辐照前后的傅里叶红外光谱。随着辐照剂量的增大,三种结构的吸收峰强度均随之减小,其振动模式受到影响。电子辐照SiO_2/Si结构后,振动吸...
关键词：电子辐照 高k介质 FTIR 
重离子辐照SiO_2/Si结构变温光致发光谱研究被引量：1
《光散射学报》2016年第4期369-373,共5页马瑶 龚敏 刘鑫 胥鹏飞 林巍 冷宏强 
国家自然科学基金项目(61176096)
本文研究了重离子辐照前后SiO_2/Si结构光学性质的变化。实验选择初始能量为414 MeV,不同辐照总剂量的Sn离子,在室温下辐照氧化层厚度为36nm和90nm的SiO_2/Si结构。并在不同测试温度下获得了辐照前后SiO_2/Si结构的光致发光谱(PL)谱。...
关键词：重离子 SiO2/Si结构 变温光致发光 
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