赵珊

作品数：1被引量：3H指数：1
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干氧SiO_2的氢氟酸缓冲腐蚀研究被引量：3
《桂林电子科技大学学报》2006年第5期363-365,共3页黄绍春 江永清 叶嗣荣 郭林红 刘晓芹 赵珊 
根据对掺三氯乙烯（TCE）干氧氧化的SiO2在不同配比氢氟酸缓冲腐蚀液（BHF）中的腐蚀特性的研究结果表明，在HF wt％保持不变的条件下，腐蚀速率先随着NH4F wt％的增大而上升；NH4F大于15 wt%～20wt％以后，腐蚀速率反而随之降低。值得...
关键词：氢氟酸缓冲腐蚀液 干氧SiO2 湿法腐蚀 三氯乙烯 
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