牛孝昊

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：北京科技大学材料科学与工程学院材料物理与化学系更多>>
发文主题：钨性能研究类金刚石薄膜类金刚石等离子增强化学气相沉积更多>>
发文领域：一般工业技术更多>>
发文期刊：《真空》更多>>
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含钨类金刚石薄膜的制备与性能研究被引量：4
《真空》2007年第4期36-39,共4页牛孝昊 罗庆洪 杨会生 陆永浩 熊小涛 王燕斌 
为了满足制备较厚低摩擦系数类金刚石薄膜(DLC)耐磨镀层的实际需求,对在等离子增强化学气相沉积的类金刚石薄膜(W-DLC)中掺钨进行了系统研究。研究结果表明,类金刚石薄膜掺入钨,在较宽的工艺条件范围内,都可以沉积厚度超过5μm的薄膜而...
关键词：掺钨类金刚石薄膜 硬度 摩擦系数 等离子增强化学气相沉积 
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