曹永浩

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微波等离子体CVD金刚石膜的温度效应
《常熟理工学院学报》2011年第4期32-34,共3页顾利萍 曹永浩 熊安邦 
采用微波等离子体CVD法,在其它生长条件和参数不变情况下,研究温度对制备金刚石膜的影响.通过扫描电镜、X射线衍射分析仪和拉曼光谱对样本的形貌和金刚石膜的质量进行了表征.
关键词:微波等离子体CVD 金刚石膜 温度 
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