周敬萱

作品数：2被引量：6H指数：1
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：光栅镀膜机共焦测量系统高稳定性更多>>
发文领域：电子电信机械工程理学文化科学更多>>
发文期刊：《长春理工大学学报（自然科学版）》《长春工业大学学报》更多>>
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大尺寸天文光栅铝膜均匀性研究被引量：1
《长春理工大学学报（自然科学版）》2019年第1期49-53,共5页周敬萱 糜小涛 张善文 齐向东 付新华 
天文观测所使用的光栅为大尺寸中阶梯光栅,其制作方法是利用金刚石刻刀对铝膜进行加工,形成光栅槽形,所以铝膜的质量能够直接影响光栅的性能。铝膜的厚度均匀性是判断铝膜质量的重要指标,以现有的内径1.8米镀膜设备为例,对铝膜的厚度均...
关键词：天文光栅 蒸气发射特性 铝膜厚度均匀性 
大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究被引量：5
《长春工业大学学报》2013年第2期195-199,共5页张方程 于海利 周敬萱 
国家重大科研装备研制基金资助项目(ZBY2008-1);吉林省重大科技攻关基金资助项目(09ZDGG005)
以内径1.1m的大尺寸中阶梯光栅镀膜机为例,设计了提高膜厚均匀性的修正挡板,并应用到了镀膜机中。在520mm×520mm的镀膜面积范围内,膜层厚度的均匀性误差从±6%降低至±0.96%,满足大尺寸中阶梯光栅研制的膜厚均匀性要求。
关键词：镀膜机 中阶梯光栅 膜层均匀性 
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