李新鹏

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供职机构：上海交通大学电子信息与电气工程学院更多>>
发文主题：薄膜太阳电池薄膜电池反射率抗反射离子束刻蚀更多>>
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用于增强薄膜电池抗反射的微半球孔阵列研究
《微纳电子技术》2015年第2期85-88,共4页李新鹏 王庆康 李海华 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2011AA050518)
为了改善薄膜太阳电池表面抗反射特性,提高其对光的吸收率,在玻璃基体上制备了一种新的微纳抗反射结构,即微半球孔阵列,其周期约为10μm、深度约5μm。测试了微半球孔阵列结构的光学特性,得到这种结构的平均反射率约为1.7%,同平板无结...
关键词：微半球孔阵列 抗反射 反射率 离子束刻蚀 薄膜太阳电池 
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