谢启

作品数:2被引量:8H指数:1
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供职机构:中国地质大学(北京)工程技术学院更多>>
发文主题:磁控溅射TIN涂层迟滞回线摩擦磨损性能对等离子体更多>>
发文领域:金属学及工艺一般工业技术更多>>
发文期刊:《中国表面工程》《表面技术》更多>>
所获基金:中央高校基本科研业务费专项资金国家自然科学基金更多>>
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等离子体增强磁控溅射TiN涂层与铝对摩时的摩擦磨损行为
《中国表面工程》2023年第6期68-78,共11页谢启 柳子怡 付志强 康嘉杰 朱丽娜 佘丁顺 
国家自然科学基金资助项目(52175196,51775524)。
铝挤压模具表面的摩擦磨损行为是影响铝制品质量和模具寿命的重要因素。为了进一步优化铝挤压模具表面耐磨涂层的沉积工艺,以TiN涂层为例,采用等离子体增强磁控溅射方法分别在基体偏流为0.1 A、1.5 A、3.0 A和4.5 A条件下制备TiN涂层,利...
关键词:磁控溅射 涂层 微观组织 摩擦学 挤压 
N_2流量对等离子体增强磁控溅射TiN涂层的影响被引量:8
《表面技术》2017年第6期161-167,共7页谢启 付志强 岳文 王成彪 
国家自然科学基金(51275494;U1537108);中央高校基本科研业务费专项资金(2652015084)~~
目的研究N_2流量对等离子体增强磁控溅射TiN涂层组织结构和性能的影响,优化TiN涂层的制备工艺。方法在不同N_2流量的条件下,采用等离子体增强磁控溅射法制备TiN涂层。采用3D形貌仪和扫描电子显微镜观察涂层的表面形貌,利用X射线衍射仪...
关键词:等离子体增强磁控溅射 TIN涂层 N2流量 迟滞回线 微观结构 摩擦磨损性能 
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