洪庆

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快速冷热循环仪的研制
《科技视界》2015年第2期64-65,共2页胡慧 金清 王慧 董阳 吴伟鸿 虞栋伟 陶旭东 洪庆 鹿业波 
国家级大学生创新创业训练计划项目(201310354009);浙江省钱江人才资助项目(QJD1302007)
本文设计了一种快速冷热循环仪,可以实现对金属薄膜材料快速变温的控制,用于研究温度变化对薄膜的影响以改善集成电路的可靠性。该仪器包括升降位移机构、运动控制系统和水冷系统及加热系统等。通过计算机控制伺服电机以驱动移动装置快...
关键词：金属薄膜 快速冷热 冷热循环仪 温度控制 
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