李宁

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
发文主题：ZNO薄膜微结构缓冲层化学气相沉积ZNO薄膜更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《发光学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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石英衬底上Au缓冲层对ZnO薄膜微结构的影响被引量：2
《发光学报》2010年第2期219-222,共4页李宁 陈金菊 邓宏 
国家自然科学基金(50802012)资助项目
采用单源化学气相沉积(SSCVD)法,在石英衬底上以Au为缓冲层,Zn4(OH)2(O2CCH3)6.2H2O为固相源制备ZnO薄膜。SEM和XRD测试ZnO薄膜的微结构,结果表明:相对于SiO2衬底上生长的ZnO薄膜,Au/SiO2衬底上生长的ZnO薄膜具有较好的结晶质量和表面...
关键词：化学气相沉积 缓冲层 ZNO薄膜 
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