潘建峰

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：复旦大学信息科学与工程学院专用集成电路与系统国家重点实验室更多>>
发文主题：C-V测试金属栅缺陷修复更多>>
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微波退火对高k/金属栅中缺陷的修复被引量：1
《半导体技术》2014年第6期428-433,共6页陈玫瑰 许鹏 潘建峰 吴东平 
国家自然科学基金资助项目(61176090)
研究了微波退火(MWA)对高k/金属栅中缺陷的修复作用。在频率为1和100 kHz下,对所有Mo/HfO2/Si(100)金属-绝缘体-半导体(MIS)结构样品进行C-V特性测试。通过在频率为100 kHz下测量的C-V特性曲线提取出平带电压与电压滞回窗口,从而估算出...
关键词：高k/金属栅 微波退火 缺陷修复 C-V测试 MoHfO2Si 
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