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彭赏: 作品数：1被引量：2H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：武汉大学物理科学与技术学院电子显微镜中心更多>>; 发文主题：粗糙度MOALN基底柱状晶更多>>; 发文领域：理学一般工业技术更多>>; 发文期刊：《电子显微学报》更多>>; 所获基金：中央高校基本科研业务费专项资金中国博士后科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>

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Mo基底的粗糙度对C轴择优取向AlN的影响被引量：2: 《电子显微学报》2016年第4期303-308,共6页柯盼彭赏郑赫贾双凤王建波; 国家重点基础研究发展计划973项目(No.2011CB933300);国家自然科学基金资助项目(No.51271134;No.J1210061;No.51501132);中央高校基本科研业务费专项基金;高等学校仪器设备和优质资源共享系统(CERS-1-26);中国博士后科学基金项目资助(No.2014T70734); 通过物理气相沉积的方法制备出Si/非晶/Mo/AlN多层膜器件,利用透射电子显微学方法研究了截面样品和AlN薄膜平面样品,确定了AlN和Mo的界面形态和生长方式。研究表明二者取向关系为[21 10]AlN//[1 11]Mo,(0002)AlN//(110)Mo,且Mo表面的粗...; 关键词：取向关系 ALN 透射电子显微学柱状晶