柳建平

作品数：2被引量：3H指数：1
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供职机构：河北工业大学信息工程学院更多>>
发文主题：光电特性RF-PECVD非晶硅薄膜IMOCVD更多>>
发文领域：电子电信理学电气工程更多>>
发文期刊：《半导体技术》《人工晶体学报》更多>>
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非晶硅太阳电池背反射电极ZnO∶B薄膜研究
《半导体技术》2013年第11期863-868,共6页柳建平 雷青松 杨瑞霞 鞠洪超 薛俊明 
摘要：采用金属有机物化学气相沉积（MOCVD）生长技术，以H：O和二乙基锌（Zn（CH2）2）为反应源，硼烷（B2H6，氢气稀释为1％）为掺杂气体，在面积为23cm×23em的普通玻璃衬底上生长ZnO：B薄膜，分析各工艺参数对薄膜光电特性的影响。...
关键词：ZnO∶B 金属有机物化学气相沉积(MOCVD) 背反射电极 光电特性 非晶硅太阳电池 
用于HIT太阳能电池的非晶硅薄膜制备与性能研究被引量：3
《人工晶体学报》2013年第11期2230-2234,共5页齐晓光 雷青松 杨瑞霞 薛俊明 柳建平 
采用射频等离子体增强化学气相沉积技术(RF-PECVD),在不同硅烷浓度下制备本征非晶硅薄膜,研究薄膜材料的微结构和光电性能。研究表明,在硅烷浓度为5%时,制备的薄膜材料处于非晶/微晶相过渡区域,具有宽光学带隙、低吸收系数、较高电导率...
关键词：iRF-PECVD 非晶硅薄膜 硅烷浓度 HIT太阳电池 
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