云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 郑志威

郑志威: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：厦门大学信息科学与技术学院更多>>; 发文主题：I/AGAN基LED比接触电阻率反射镜电极更多>>; 发文领域：电子电信更多>>; 发文期刊：《半导体技术》更多>>; 所获基金：广东省重大科技专项国家自然科学基金更多>>

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垂直结构GaN基LED用Ni/Ag反射镜电极: 《半导体技术》2017年第8期591-597,共7页卜庆典周伦茂龙浩应磊莹郑志威张保平; 国家自然科学基金委联合基金资助项目(U1505253);国家重点研发计划战略性电子材料重点专项资助项目(2016YFB0400800);广东省科技重大专项资助项目(2014B010119004); Ni/Ag/Ti/Au金属系反射镜电极广泛用于GaN基垂直结构发光二极管(LED)的传统制造工艺。这种电极需要进行高温长时间整体退火才能获得高质量的欧姆接触,但对电极的反射率和器件性能影响较大。介绍了一种新工艺方法,该方法将电极分解为接...; 关键词：GAN基LED Ni/Ag反射镜电极欧姆接触反射率比接触电阻率