徐仁军

作品数：1被引量：1H指数：1
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具有定向及自控制功能的真空镀膜系统被引量：1
《物理实验》2005年第9期45-47,共3页徐仁军 贺天民 王魁香 
对现有真空镀膜系统进行了改进,在原系统中增加了定向装置和5个控制装置,可实现定向镀膜和有效地控制膜厚,进而显著提高膜层质量.
关键词：真空镀膜 自动控制 膜厚 
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