王伟

作品数：5被引量：5H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文主题：CMP化学机械抛光ICSOLIDWORKS有限元模型更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《电子工业专用设备》更多>>
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国家科技重大专项
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作品数：155256被引量：844641H指数：182
相关主题：数值模拟 鄂尔多斯盆地 影响因素 煤层气 页岩气
相关领域：医药卫生 石油与天然气工程 天文地球 环境科学与工程 农业科学
国家科技重大专项(2009ZX02011-005A)
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作品数：8被引量：9H指数：2
相关主题：化学机械抛光 CMP CMP设备 300MM硅片 夹持
相关领域：电子电信
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