国家科技重大专项(2009ZX02011-005A)

作品数：8被引量：9H指数：2
导出分析报告
相关作者：徐存良高文泉柳滨陈威陈波更多>>
相关机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所北京中电科电子装备有限公司更多>>
相关期刊：《电子工业专用设备》更多>>
相关主题：化学机械抛光CMPCMP设备300MM硅片夹持更多>>
相关领域：电子电信更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-8
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
CMP大盘结构研究被引量：1
《电子工业专用设备》2013年第2期33-37,共5页陈波 徐存良 
国家02重大专项(项目编号:2009ZX02011-005A)
在CMP设备中,大盘的整体性能直接影响抛光后晶圆的表面质量和整体面型精度。分析了三种大盘的受力结构,选择应用交叉圆锥滚子轴承的结构为最优。给出了抛光大盘的陶瓷台面的温度控制水道的三个分布模式。
关键词：表面跳动 水压 温度 轴向跳动 
CMP设备中抛光垫修整机构的研究被引量：1
《电子工业专用设备》2012年第8期1-3,30,共4页高文泉 李伟 徐存良 郭强生 
国家02重大专项(项目编号:2009ZX02011-005A)
介绍了一种新型抛光垫修整机构的功能、结构及运动原理,通过理论计算给出了修整力的计算公式,并介绍了一种原理简单,操作方便的气动控制系统。在工艺试验过程中,充分证明了其结构原理及控制系统的合理性,进而在理论和实践两个方面确定...
关键词：抛光垫修整机构 修整力 气动控制系统 
CMP系统真空供给系统设计被引量：1
《电子工业专用设备》2012年第3期45-49,共5页李伟 高文泉 柳滨 陈波 
国家02重大专项(2009ZX02011-005A)
研制了一套化学机械抛光机(CMP)专用的真空供给系统,主要由水环式真空泵、真空泵箱体、真空储气罐和水箱(汽水分离器)组成及控制模块组成。设计了水箱供水控制模块、水箱温度自动控制模块,通过控制水箱水温进而控制真空泵工作液的温度,...
关键词：化学机械抛光 真空供给系统 温度自动控制 ANSYS WORKBENCH 模态分析 
化学机械抛光设备关键技术研究被引量：3
《电子工业专用设备》2012年第1期12-15,共4页高文泉 丁彭刚 徐存良 
国家02重大专项（项目编号：2009ZX02011-005A）
化学机械抛光（CMP）技术作为目前唯一可提供在整个晶圆片上全面平坦化的工艺技术,已被越来越广泛地应用到了半导体领域。介绍了CMP技术原理、晶片夹持、抛光台温度控制、抛光垫修整、终点检测、抛光后清洗等技术以及未来对国内CMP设备...
关键词：化学机械抛光(CMP) 夹持 温度控制 终点检测 清洗 
300mm硅片CMP设备装载技术研究
《电子工业专用设备》2011年第11期1-3,7,共4页高文泉 陈威 陈波 柳滨 
国家02重大号项(项目编号:2009ZX02011-005A)
定位装载机构是硅片化学机械抛光(CMP)设备的一个重要组成部分。本文通过对目前CMP设备中硅片定位装载机构的介绍、分析与比较,介绍了一种新型定位装载机构的功能、结构原理及控制原理,并最终通过在工艺试验中的实际应用确定了该机构已...
关键词：定位装载机构 化学机械抛光 CMP 控制原理 
6R机械手在CMP设备中的运动空间分析
《电子工业专用设备》2011年第11期11-14,56,共5页徐存良 陈波 高文泉 柳滨 
国家02重大专项(2009ZX02011-005A)
工作空间是一个衡量机械手工作能力的重要运动学指标。通过分析抛光机中机械手的工作流程,确定了机械手工作空间;并利用D-H坐标法,建立6R机械手的数学模型,得到机械手末端坐标系相对于基坐标系的传递矩阵。最后,采用蒙特卡洛数值分析法...
关键词：机械手 工作空间 蒙特卡洛法 
300mm硅片化学机械抛光压力控制技术研究被引量：1
《电子工业专用设备》2011年第8期1-4,37,共5页王东辉 郭强生 柳滨 陈威 王伟 
国家重大科技专项(2009ZX02011-005A)
介绍了一种应用于硅片化学机械抛光(CMP)设备的压力控制技术,综合利用在线检测方法和离线检测方法,借助于Matlab数值分析软件分析抛光主轴压力设定值、气缸气压值、传感器示值以及检测仪器测试值之间的关系,并建立了主轴压力闭环控制系...
关键词：化学机械抛光 压力检测 数据处理 闭环控制 
基于SolidWorkS的基座有限元分析被引量：2
《电子工业专用设备》2011年第10期29-32,共4页陈威 王伟 李伟 柳滨 
国家02重大专项(2009ZX02011-005A)
通过Solidworks三维绘图软件建立基座的三维模型,在COSMOSWorks仿真环境下,对基座进行了受力分析,获得了工况下基座周围的应力应变图,为其进行结构优化设计提供了重要的依据。
关键词：基座 Solidwoks软件 有限元模型 优化设计 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部