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低功耗检测CO_(2)的MEMS红外光源结构设计与仿真
《红外技术》2024年第8期858-863,共6页滕雪松 禹胜林 魏志杰 房村 熊思娴 王梦婷 
传统的二氧化碳传感器存在着体积大、功耗高等问题,近年来随着半导体技术和材料的发展,MEMS技术逐渐成为传感器的研究重点。研究并设计了一种适用于二氧化碳传感器的微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)红外光源芯片结构...
关键词：微机械电子系统 红外光源 低功耗 稳固结构 
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