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单晶金刚石异质外延用铱复合衬底研究现状
《人工晶体学报》2023年第5期857-877,共21页屈鹏霏 金鹏 周广迪 王镇 许敦洲 吴巨 郑红军 王占国 
国家重点研发计划(2022YFB3608602);北京市科技计划(Z181100004418009);国家自然科学基金(61927806)。
金刚石优异的物理性质使其成为下一代最有发展潜力的半导体材料之一。目前来看,基于微波等离子体化学气相沉积的异质外延可能是未来制备大尺寸单晶金刚石的最佳方法。在过去的三十年间,铱复合衬底上异质外延生长单晶金刚石取得了一定进...
关键词：金刚石 铱复合衬底 半导体 异质外延 偏压增强成核 微波等离子体化学气相沉积 
镀膜技术及设备
《中国光学》1997年第1期62-62,共1页
O484.1 97010436非晶态有机聚合物薄膜脉冲激光沉积=Pulsedlaser deposition of non-crystal organic polymer[刊,中]/张兵临(郑州大学物理系.河南,郑州(450052)),马会中,张兰(郑州工学院.河南,郑州(450002))∥激光与光电子学进展.—199...
关键词：有机聚合物薄膜 脉冲激光沉积 偏压增强成核 非晶态 金刚石薄膜 光电子学 微波等离子体 离子镀 郑州大学 镀膜技术 
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