MEMS电容式加速度计可靠性研究  

Reliability Considerations and Experiments of MEMS Capacitive Accelerometers

作　　者：吝海锋[1] 吕苗[1] 杨拥军[1] 师谦[1] 郑锋[1] 恩云飞[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051 中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051 中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051 中国电子产品可靠性与环境实验研究所,广州,510610 中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051 中国电子产品可靠性与环境实验研究所,广州,510610

出　　处：《中国机械工程》2005年第z1期124-126,共3页China Mechanical Engineering

基　　金：国防基金资助项目

摘　　要：探讨了MEMS电容式加速度计的结构、电路、制造工艺和系统等各方面的可靠性,总结出了表面粘附、结构断裂、分层失效和辐射失效等几种主要失效模式,并进行相应的失效机理分析.通过可靠性实验进行了验证,发现非致命的环境影响因素中,温度对电容式加速度计性能影响最大,最终完成了满足实用化要求的MEMS微加速度计设计.

关 键 词：微电子机械系统 电容式 加速度计 可靠性 

分 类 号：TP802.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN406[自动化与计算机技术—控制科学与工程]