吝海锋

作品数:6被引量:27H指数:3
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供职机构:中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文主题:MEMS微电子机械系统加速度传感器可靠性研究电容式加速度计更多>>
发文领域:机械工程自动化与计算机技术航空宇航科学技术电子电信更多>>
发文期刊:《微纳电子技术》《中国机械工程》更多>>
所获基金:国防基金国家重点实验室开放基金国家高技术研究发展计划更多>>
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微惯性测量单元橡胶减振器结构设计被引量:3
《微纳电子技术》2018年第5期338-344,共7页吝海锋 沈超群 杨拥军 沈路 王宁 刘译允 
为减小外部环境的振动和冲击对微惯性测量单元(MIMU)的输出的影响,基于减振器六种隔振模式理论和单自由度系统无阻尼自由振动原理,选择合适的隔振模式并分析了MIMU橡胶减振器谐振频率的影响因素。通过构建有效的有限元模型分析MIMU减...
关键词:微惯性测量单元(MIMU) 有限元仿真 橡胶减振器 隔振 三向等刚度 
全解耦硅MEMS陀螺仪正交耦合分析被引量:3
《微纳电子技术》2018年第1期38-44,共7页吝海锋 王宁 杨拥军 徐淑静 李博 
为了减小正交误差对硅MEMS陀螺仪性能的影响,进一步提高陀螺精度和工程化成品率,对MEMS陀螺正交耦合的影响因素进行了研究。通过MEMS陀螺的运动学简化模型,分析了正交耦合的起因;计算了MEMS陀螺的静电驱动力和阻尼系数,建立了MEMS陀螺...
关键词:微电子机械系统(MEMS) 陀螺仪 静电驱动 正交耦合 有限元分析(FEA) 
一种新型无源MEMS万向碰撞开关被引量:10
《微纳电子技术》2009年第6期358-361,共4页吝海锋 何洪涛 卞玉民 杨拥军 
国家高技术研究发展(863)专项经费资助项目(2007AA04Z355)
采用MEMS体Si加工工艺和圆片级封装技术,开发了一种基于特种运输中的新型无源MEMS万向碰撞开关。开关选用弹簧-质量-阻尼的典型碰撞结构,对惯性加速度计敏感,以碰撞接触的形式提供导通电阻信号,并拥有500g径向360°和1000g纵向碰撞触发...
关键词:碰撞开关 微电子机械系统 特种运输 无源 万向 
MEMS电容式加速度计可靠性研究被引量:1
《中国机械工程》2005年第z1期124-126,共3页吝海锋 吕苗 杨拥军 师谦 郑锋 恩云飞 
国防基金资助项目
探讨了MEMS电容式加速度计的结构、电路、制造工艺和系统等各方面的可靠性,总结出了表面粘附、结构断裂、分层失效和辐射失效等几种主要失效模式,并进行相应的失效机理分析.通过可靠性实验进行了验证,发现非致命的环境影响因素中,温度...
关键词:微电子机械系统 电容式 加速度计 可靠性 
微机械热对流加速度传感器可靠性研究被引量:7
《微纳电子技术》2003年第7期317-320,共4页杨拥军 吝海锋 师谦 徐爱东 
电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室基金支持项目
介绍了一种新型的微机械加速度计———热对流加速度计的工作原理及加工制造工艺。由于加速度计由单晶硅腔体、加热器和两只在加热器两侧并与加热器等距的温度传感器构成 ,其本身没有活动部件 ,因此这种加速度计的抗冲击能力几乎达到材...
关键词:微机械加速度计 热对流加速度计 工作原理 制造工艺 可靠性 加速度传感器 
电容式加速度传感器结构的计算机仿真被引量:3
《微纳电子技术》2002年第6期32-35,共4页吝海锋 杨拥军 郑锋 
针对硅梁论述了微机械电容式加速度传感器的工作原理,应用有限元分析方法对三种不同的硅梁结构对加速度计进行结构建模,并模拟分析了三种不同的梁的加速度计结构的第一和第二模态,1g加速度下的挠度,以及存在预应力情况下结构的第一、第...
关键词:加速度传感器 有限元 计算机仿真 微机械 
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