沈路

作品数:5被引量:4H指数:1
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供职机构:中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文主题:角速度单片集成传感装置航空惯性测量装置更多>>
发文领域:机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊:《半导体技术》《微纳电子技术》更多>>
所获基金:国家自然科学基金更多>>
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微惯性测量单元橡胶减振器结构设计被引量:3
《微纳电子技术》2018年第5期338-344,共7页吝海锋 沈超群 杨拥军 沈路 王宁 刘译允 
为减小外部环境的振动和冲击对微惯性测量单元(MIMU)的输出的影响,基于减振器六种隔振模式理论和单自由度系统无阻尼自由振动原理,选择合适的隔振模式并分析了MIMU橡胶减振器谐振频率的影响因素。通过构建有效的有限元模型分析MIMU减...
关键词:微惯性测量单元(MIMU) 有限元仿真 橡胶减振器 隔振 三向等刚度 
一种基于绝缘体上Ge的碰撞电离晶体管
《微纳电子技术》2017年第9期581-584,共4页沈路 李妤晨 杨拥军 
碰撞电离晶体管(IMOS)在高速、低功耗领域具有很好的应用前景。以优化传统IMOS的工作电压为目的,介绍了一种基于绝缘体上Ge的碰撞电离晶体管(GOI IMOS),利用Synopsys公司的ISE_TCAD对GOI IMOS的性能进行仿真分析与验证。结果表明,GOI I...
关键词:碰撞电离晶体管(IMoS) 绝缘体上Ge(GOI) 雪崩击穿 阈值电压 亚阈值摆幅 
n型纳米非对称DG-TFET阈值电压特性研究
《半导体技术》2015年第8期585-591,共7页李妤晨 沈路 张鹤鸣 刘树林 
国家自然科学基金资助项目(61474085);西安科技大学博士启动金资助项目(2014QDJ035)
n型纳米非对称双栅隧穿场效应晶体管(DG-TFET)速度快、功耗低,在高速低功耗领域具有很好的应用前景,但其阈值电压的表征及其模型与常规MOSFET不同。在深入研究n型纳米非对称DG-TFET的阈值特性基础上,通过求解器件不同区域电场、电势的方...
关键词:双栅隧穿场效应晶体管(DG-TFET) 带带隧穿 亚阈值摆幅 阈值电压 纳米非对称结构 
MEMS振动传感器快速自动标定系统被引量:1
《微纳电子技术》2013年第7期453-457,共5页李博 王娟 沈路 
针对MEMS振动传感器批量化标定要求,建立了一套MEMS振动传感器快速自动标定系统,可实现传感器静态和动态指标的快速多通道标定。首先介绍MEMS振动传感器的基本工作原理、静态以及动态数学模型,并根据静态参数和动态参数的标定要求,利用...
关键词:微电子机械系统(MEMS) 振动传感器 自动标定 静态参数 动态参数 
体硅热膜传感器单片集成工艺的研究
《微纳电子技术》2010年第7期437-442,450,共7页邹学锋 沈路 何洪涛 
针对MEMS热膜式传感器的发展趋势和在实用化过程中存在的问题,提出了一种新型的单片电路和体硅MEMS热膜式传感器实现集成制造的嵌入式CMOS工艺技术,解决了MEMS制造工艺和CMOS集成电路工艺之间存在的兼容性问题。通过这种嵌入式CMOS工艺...
关键词:微电子机械系统 体硅工艺 单片集成 温度兼容性 交叉污染 
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