吕苗

作品数：4被引量：3H指数：1
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SDB技术在MEMS加速度计中的应用
《中国机械工程》2005年第z1期434-436,共3页吕树海 罗蓉 杨拥军 吕苗 
介绍了硅硅直接键合(SDB)技术的反应机理、实现方法和技术优势,重点阐述了SDB技术在MEMS加速度计中的应用;通过初步测试,表明利用SDB技术制作的加速度计具有很好的稳定性.
关键词：硅硅直接键合(SDB) 电感耦合等离子(ICP) MEMS 键合 
MEMS电容式加速度计可靠性研究被引量：1
《中国机械工程》2005年第z1期124-126,共3页吝海锋 吕苗 杨拥军 师谦 郑锋 恩云飞 
国防基金资助项目
探讨了MEMS电容式加速度计的结构、电路、制造工艺和系统等各方面的可靠性,总结出了表面粘附、结构断裂、分层失效和辐射失效等几种主要失效模式,并进行相应的失效机理分析.通过可靠性实验进行了验证,发现非致命的环境影响因素中,温度...
关键词：微电子机械系统 电容式 加速度计 可靠性 
一种可以实现快速检测的微振荡型PCR芯片
《中国机械工程》2005年第z1期88-90,共3页罗蓉 徐爱东 王玮 吕苗 
介绍了一种利用MEMS技术制作的微振荡型PCR芯片.与常规PCR产品相比,具有快速、微量和低耗等优点.设计了该芯片的工艺流程并进行了投片,通过实验成功验证了该器件的可行性.
关键词：MEMS 微通道 EPW腐蚀 
一种低损耗X波段微机械带通滤波器的设计与实现被引量：2
《中国机械工程》2005年第z1期231-232,共2页李倩 赵瑞华 吕苗 胡小东 
采用MEMS工艺在两层高阻硅衬底上研制了一种低损耗的X波段滤波器.使用HFSS软件进行了结构仿真及优化,得到的带内损耗小于2dB,带外抑制大于40dB.设计了该滤波器的工艺流程并进行了投片,经测试,获得的滤波器的测试结果与仿真结果比较接近.
关键词：射频微电子机械系统 微机械加工 微封装 滤波器 
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