恩云飞

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团公司第十三研究所更多>>
发文主题：MEMS加速度计可靠性研究微电子机械系统电容式加速度计更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《中国机械工程》更多>>
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MEMS电容式加速度计可靠性研究被引量：1
《中国机械工程》2005年第z1期124-126,共3页吝海锋 吕苗 杨拥军 师谦 郑锋 恩云飞 
国防基金资助项目
探讨了MEMS电容式加速度计的结构、电路、制造工艺和系统等各方面的可靠性,总结出了表面粘附、结构断裂、分层失效和辐射失效等几种主要失效模式,并进行相应的失效机理分析.通过可靠性实验进行了验证,发现非致命的环境影响因素中,温度...
关键词：微电子机械系统 电容式 加速度计 可靠性 
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