等离子体加工光学元件装置技术研究  

Super Smooth Surface Processing Technology-Plasma Polishing

作　　者：胡敏达[1] 杭凌侠[1] 刘卫国[1] 徐均琪[1] 梁海峰[1] 

机构地区：[1]西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安,710032 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安,710032 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安,710032 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安,710032 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安,710032

出　　处：《真空科学与技术学报》2007年第z1期38-40,共3页Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

摘　　要：介绍了一种新型的超光滑表面加工技术-等离子体抛光.设计和安装了一套等离子体加工试验平台.加工试验平台由真空系统、等离子体源、射频电源系统、气路系统组成.试验平台具有独立变量:气体流量、真空度、射频电源发射功率和反射功率和加工时间.对于石英玻璃材料的实验结果表明等离子体抛光是一种可行的有潜力的抛光技术.

关 键 词：超光滑表面 等离子体抛光 加工平台 等离子体源 

分 类 号：TQ171.684[化学工程—玻璃工业]