SOI CMOS器件及其应用  

SOI CMOS Device and Its Application

作　　者：翁寿松[1] 

机构地区：[1]无锡市罗特电子有限公司,江苏无锡214002

出　　处：《电子元器件应用》2005年第4期52-54,共3页Electronic Component & Device Applications

摘　　要：介绍SOI技术及其形成方法。介绍SOICMOS器件的优点、全耗尽(FD)SOICMOS器件的特点及其应用。The SOI technology and its formative method are introduced. The merits of the SOI CMOS device, the characteristics of the fully depleted (FD) SOI CMOS device and its application are also introduced.

关 键 词：SOI技术 SOI CMOS器件 薄膜SOI CMOS器件 应用 

分 类 号：TN432[电子电信—微电子学与固体电子学]