激光技术在薄膜科学中的应用  

作　　者：陈兴[1] 张霆[1] 方尚旭[1] 罗乐[1] 

机构地区：[1]安徽省合肥工业大学理学院,230009

出　　处：《现代物理知识》2007年第5期38-39,共2页Modern Physics

关 键 词：薄膜科学 激光技术 金属有机物化学气相沉积 应用 离子束溅射沉积 真空蒸发沉积 磁控溅射沉积 分子束外延 

分 类 号：TB43[一般工业技术]