磁控溅射沉积

作品数：134被引量：393H指数：9
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基于磁控溅射沉积BZO/Ag/BZO透明电极的性能优化研究
《功能材料》2025年第1期1120-1125,1138,共7页王露 高春联 李月婵 李秀秀 谢安 
福建省自然科学基金(2022J011266);厦门市重大科技项目(3502Z20231017);大学生创新创业训练计划项目(S202311062023)。
采用多步磁控溅射的方法在钠钙玻璃衬底上制备了BZO/Ag/BZO电极,分别研究金属层Ag和顶层BZO厚度对电极形貌和光电性能影响。通过优化Ag层厚度,当Ag层达到19 nm的厚度阈值时,Ag由“孤岛结构”转变为“连续结构”,为自由电子的传输提供完...
关键词：BZO/Ag/BZO电极 金属Ag层 厚度 导电性能 高透射率 
Ta/Cr复合涂层的磁控溅射沉积与性能优化
《装备环境工程》2025年第1期50-60,共11页许瑞 刘龙 刘翠翠 徐志刚 彭健 王传彬 
广东省基础与应用基础研究重大项目(2021B0301030001)。
目的在Ta涂层与基体之间引入Cr缓冲层,研究不同Cr缓冲层厚度(447~1503 nm)对涂层物相结构、微观形貌、力学性能、结合性能及摩擦磨损性能的影响,以提高Ta涂层与不锈钢基体间结合力,提升Ta/Cr复合涂层的性能。方法采用磁控溅射技术,在PCr...
关键词：α-Ta涂层 Cr缓冲层 磁控溅射 力学性能 界面结合 摩擦磨损 
保温时间对Ni-W合金靶材组织性能及其溅射薄膜性能的影响
《材料热处理学报》2025年第1期180-189,共10页高铭 王文焱 岳慎伟 谢敬佩 崔云峰 刁晓刚 
洛阳市重大科技创新专项(2201018A);郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项(201200211000)。
首先采用烧结工艺制备了不同保温时间的Ni-W合金靶材,并以氧化铟锡(ITO)为基体,通过磁控溅射法制备了Ni-W合金薄膜。采用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、电子背散射衍射(EBSD)、透射电镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)等对靶材及其溅射薄膜...
关键词：Ni-W合金靶材 磁控溅射沉积 显微组织 
磁控溅射沉积ZnS薄膜及其性能研究
《红外》2024年第12期40-44,共5页戴永喜 郑天亮 王娇 赵凯 李乾 
采用磁控溅射技术在硅衬底上制备ZnS薄膜,探究了溅射功率对ZnS薄膜沉积速率、表面粗糙度和表面形貌的影响。采用台阶仪、原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)、扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)、椭偏仪等表征...
关键词：磁控溅射 ZNS薄膜 沉积速率 溅射功率 微观结构 
基于WTe_(2)可饱和吸收体的超快掺铒光纤激光器
《光学学报》2024年第20期166-172,共7页叶传香 李珺子 王金涛 
国家自然科学基金(12074264,11904240);广东省自然科学基金(2022A1515010759,2024A1515012330);广东省教育厅特色创新项目(2022KTSCX310);深圳市科创委稳定支持项目(20231128090750001);深圳职业技术大学项目(6022310027K,6022312060K,6023310035K)。
采用磁控溅射沉积的WTe_(2)作为可饱和吸收体,在掺铒光纤激光器中实现了超快脉冲的产生。在1559.31 nm波长处,实验测得的3 d B光谱带宽为11.54 nm,脉冲宽度为231 fs。在26.6 MHz基频处获得了最大平均输出功率为58 m W、脉冲能量为2.18 ...
关键词：激光器 磁控溅射沉积 WTe2 掺铒光纤 锁模 微纳光纤 
使用电子回旋波共振等离子体源辅助中频磁控溅射沉积氧化铌薄膜
《中国表面工程》2024年第4期273-279,共7页殷冀平 吕少波 蔺增 巴德纯 
国家自然科学基金(51775096);中国科学院-威高研究发展计划攻关项目([2007]006);中央高校基本科研业务费项目(N2003009)。
中频磁控溅射虽相较于电子束蒸发成膜质量更好,但不可避免仍然存在一部分颗粒物,将严重影响光学薄膜的质量和光学特性。研究了使用电子回旋波共振(ECWR)等离子体源作为辅助设备与中频磁控溅射相配合沉积的氧化铌薄膜,进行了等离子体诊...
关键词：电子回旋波共振等离子体 中频磁控溅射 等离子体诊断 感应耦合等离子体 氧化铌薄膜 
磁控溅射沉积Ni-DLC涂层摩擦磨损性能研究及预测
《建模与仿真》2024年第4期4381-4394,共14页石青松 徐红玉 王晓强 
国家自然科学基金项目[U1804145];国家重点研发计划[2018YFB2000405];国家重点研发计划[2022YFC2805702]。
为提高风电轴承的摩擦磨损性能、延长使用寿命,从而降低运维成本,以硬度、摩擦系数和磨损率为摩擦磨损性能的评价指标。在42GrMo钢基体使用非平衡磁控溅射沉积技术沉积Ni-DLC复合涂层,对复合涂层进行摩擦磨损实验和划痕实验,测试涂层的...
关键词：磁控溅射 指数回归 摩擦磨损性能 Ni-DLC涂层 风电轴承 
Ti6Al4V磁控溅射沉积Ag-Cu涂层及其抗菌性能的研究
《桂林电子科技大学学报》2024年第3期274-280,共7页丁结平 丁佳 高波 徐晋勇 
钛合金作为植入物广泛应用于医学领域,由于不具备抗菌性能,易造成人体受到细菌感染,随着医用材料对抗菌性能要求的日益提升,亟待开展钛合金抗菌性能研究,以拓展其应用范围。为改善钛合金Ti6Al4V的抗菌性能,采用磁控溅射技术优化工艺参数...
关键词：磁控溅射 钛合金 Ag-Cu涂层 Ag涂层 抗菌 
碳含量对中频磁控溅射沉积MoCN涂层微观结构及摩擦学性能的影响被引量：1
《表面技术》2023年第4期184-191,共8页李卫 李德香 鲁志杰 刘叶诚 吕笑文 徐志彪 
国家自然科学基金(52105202,51905172);广东省基础与应用基础研究基金(2020A1515011407)。
目的 为了大幅提高机械零部件表面的硬度和耐磨性能,探究制备具有低摩擦因数、高硬度和良好耐磨性的MoCN涂层。方法 采用中频磁控溅射技术在不锈钢基板和硅片上,通过控制C_(2)H_(2)气体(纯度99.99%,0、3、6、9 mL/min)的量来制备具有不...
关键词：中频磁控溅射技术 纳米复合涂层 MoCN 微观结构 力学性能 摩擦学性能 
磁控溅射沉积银薄膜/涂层的研究进展被引量：7
《稀有金属材料与工程》2022年第12期4773-4782,共10页宁哲达 王一晴 陈天天 谭志龙 闻明 
云南省国际合作计划项目(2014IA037);云南省创新团队项目(2019HC024);云南省科技厅科研院所技术开发研究专项(2018DC004)。
银薄膜/涂层是一种在高新技术领域极具潜力的新材料,近年来在现代工业中得到了广泛的应用。采用磁控溅射制备的银薄膜/涂层具有优异的附着力,通过选择相应的沉积参数可以实现对银薄膜/涂层微观结构及性能的调控。本文综述了磁控溅射沉...
关键词：磁控溅射 银薄膜/涂层 显微结构 应用 
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