Φ125mm硅单晶的控氧技术  

作　　者：张果虎[1] 常青[1] 方锋[1] 吴志强[1] 郝玉清[1] 秦福[1] 

机构地区：[1]北京有色金属研究总院

出　　处：《稀有金属》1997年第5期395-397,共3页Chinese Journal of Rare Metals

摘　　要：Φ１２５ｍｍ硅单晶的控氧技术张果虎常青方锋吴志强郝玉清秦福（北京有色金属研究总院，北京１０００８８）关键词：硅单晶氧含量控氧技术坩埚结构１引言为满足不同的器件对硅片氧含量的不同要求，需要更精确地控制直拉硅单晶中的氧含量及氧梯度。单晶中的氧有两方面的作...

关 键 词：控氧技术 坩埚 结构 单晶硅 单晶炉 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学]