方锋

作品数：5被引量：16H指数：2
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供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
发文主题：硅单晶磁体热屏脆性断裂半导体更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《稀有金属》《Journal of Semiconductors》更多>>
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300mm硅单晶的缩颈生长及应力分析被引量：3
《稀有金属》2001年第4期266-268,共3页程景柏 屠海令 周旗钢 王敬 常青 张果虎 方锋 
对不同直径颈部晶体进行了拉伸实验及断口形貌观察 ,颈部晶体的断裂属于脆性断裂 ,增大晶体颈部直径可以增大其承受拉力 ,从而可以制得更大重量的单晶。缩颈生长工艺条件会对颈部晶体的抗拉强度产生影响。
关键词：硅单晶 缩颈 脆性断裂 抗拉强度 晶体生长 应力分析 
300mm硅单晶的生长技术被引量：13
《Journal of Semiconductors》2001年第3期383-386,共4页张果虎 吴志强 方锋 秦福 常青 周旗钢 屠海令 
讨论了 30 0 mm硅单晶的工艺控制 ,分析了拉晶工艺、热屏及磁场对晶体质量的影响。合理的工艺参数是拉制无位错单晶的前提 。
关键词：硅单晶 热屏 拉晶 磁体 生长的 
Φ125mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究
《稀有金属》1998年第6期466-468,共3页郝玉清 张果虎 常青 方锋 吴志强 万关良 秦福 
为控制氧径向均匀性，选择Φ３５０ｍｍ热场。增加晶转速度可以改善氧径向均匀性，但石英坩埚转速对氧径向均匀性没有明显影响。
关键词：硅单晶 氧径向均匀性 热场 晶转速度 
Φ200mm硅单晶的生长工艺特点被引量：1
《稀有金属》1998年第1期67-68,共2页张果虎 常青 方锋 吴志强 周旗钢 
在全自动拉晶条件下，讨论了拉制Φ２００ｍｍ硅单晶遇到的新问题。热场配置、工艺参数的选择、石英坩埚的选用等有了更严格的要求。合理的轴向温度梯度和径向温度梯度、低拉速、低晶转及规范的拉晶工艺是拉制大直径单晶的关键。
关键词：硅单晶 无位错 热场 拉晶 半导体 
Φ125mm硅单晶的控氧技术被引量：1
《稀有金属》1997年第5期395-397,共3页张果虎 常青 方锋 吴志强 郝玉清 秦福 
Φ１２５ｍｍ硅单晶的控氧技术张果虎常青方锋吴志强郝玉清秦福（北京有色金属研究总院，北京１０００８８）关键词：硅单晶氧含量控氧技术坩埚结构１引言为满足不同的器件对硅片氧含量的不同要求，需要更精确地控制直拉硅单晶中的氧含...
关键词：控氧技术 坩埚 结构 单晶硅 单晶炉 
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