郝玉清

作品数：2被引量：1H指数：1
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发文主题：硅单晶单晶炉单晶硅坩埚氧更多>>
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Φ125mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究
《稀有金属》1998年第6期466-468,共3页郝玉清 张果虎 常青 方锋 吴志强 万关良 秦福 
为控制氧径向均匀性，选择Φ３５０ｍｍ热场。增加晶转速度可以改善氧径向均匀性，但石英坩埚转速对氧径向均匀性没有明显影响。
关键词：硅单晶 氧径向均匀性 热场 晶转速度 
Φ125mm硅单晶的控氧技术被引量：1
《稀有金属》1997年第5期395-397,共3页张果虎 常青 方锋 吴志强 郝玉清 秦福 
Φ１２５ｍｍ硅单晶的控氧技术张果虎常青方锋吴志强郝玉清秦福（北京有色金属研究总院，北京１０００８８）关键词：硅单晶氧含量控氧技术坩埚结构１引言为满足不同的器件对硅片氧含量的不同要求，需要更精确地控制直拉硅单晶中的氧含...
关键词：控氧技术 坩埚 结构 单晶硅 单晶炉 
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