微光机电系统  

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出  处:《电子工业专用设备》2008年第7期24-24,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘  要:微光机电系统(MOEMS)是以批量化的微电子技术为基础,通过各向异性腐蚀、各向同性腐蚀、牺牲层腐蚀、键合等技术,制造出各种微机械结构,并使之与电路相集成,组成一个可以完成信息获取、处理及执行功能的微系统。

关 键 词:微光机电系统 各向异性腐蚀 微电子技术 牺牲层腐蚀 微机械结构 各向同性 信息获取 微系统 

分 类 号:TN304.12[电子电信—物理电子学]

 

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