牺牲层腐蚀

作品数：15被引量：15H指数：2
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相关期刊：《传感技术学报》《中国机械工程》《微细加工技术》《中国集成电路》更多>>
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HF气相刻蚀技术及其在MEMS加速度计中的应用被引量：1
《中国集成电路》2016年第4期73-77,共5页方佼 於广军 闻永祥 马志坚 季锋 闵猛猛 
本文介绍了一种用于微结构干法释放的HF气相刻蚀技术。通过调节工艺参数(包括腔体压力,HF流量,乙醇流量,氮气流量)研究其对二氧化硅刻蚀速率和均匀性的影响,得到刻蚀速率在500魡/min左右,均匀性5%左右的工艺菜单。该技术运用于MEMS加速...
关键词：气相氟化氢 牺牲层腐蚀 无粘连释放 刻蚀速率和均匀性 微加速度计 
牺牲层二维腐蚀修正模型的研究被引量：1
《传感技术学报》2015年第6期809-813,共5页俞佳佳 方玉明 蒋文涛 吉新村 
江苏省普通高校专业学位研究生科研实践计划项目(SJLX_0372);江苏省自然科学基金项目(BK20131380;BK20130880)
针对氢氟酸腐蚀氧化硅,深入研究了牺牲层腐蚀的原理。牺牲层腐蚀主要受扩散机制影响。把二维扩散方程中的扩散系数看作溶液浓度和温度的函数,建立了二维腐蚀修正模型。利用有限差分算法求解扩散方程,并使用C语言编程实现了对单开口、内...
关键词：牺牲层腐蚀 二维腐蚀模型 扩散系数 计算机模拟 
自顶向下贯穿腐蚀制备空腔型FBAR的方法被引量：1
《压电与声光》2014年第5期679-684,共6页高杨 何移 周斌 何婉婧 李君儒 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2012CJMZZ00009);重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金资助项目(2013MS04);中物院电子工程研究所科技创新基金资助项目(S20141203);西南科技大学研究生创新基金资助项目(13YCJJ36;14YCX107;13YCX109和14YCX111)
牺牲层释放是空腔型薄膜体声波谐振器(FBAR)工艺中形成空腔结构的关键步骤,牺牲层释放的效果直接决定了空腔型FBAR的谐振特性。根据空腔型FBAR中气隙的功能和结构特点,提出了自顶向下贯穿腐蚀牺牲层制备镂空空腔型FBAR的创新工艺方法。...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 空腔型 牺牲层腐蚀 释放窗口 谐振仿真 
微光机电系统
《电子工业专用设备》2008年第7期24-24,共1页
微光机电系统（MOEMS）是以批量化的微电子技术为基础，通过各向异性腐蚀、各向同性腐蚀、牺牲层腐蚀、键合等技术，制造出各种微机械结构，并使之与电路相集成，组成一个可以完成信息获取、处理及执行功能的微系统。
关键词：微光机电系统 各向异性腐蚀 微电子技术 牺牲层腐蚀 微机械结构 各向同性 信息获取 微系统 
牺牲层腐蚀改进模型与模拟研究被引量：1
《传感技术学报》2008年第2期207-210,共4页彭奇 李伟华 
国家863项目资助(2006AA04Z302)
牺牲层腐蚀主要受腐蚀液的扩散过程制约,由扩散方程决定。扩散系数在腐蚀过程中随温度和腐蚀液浓度变化而改变。文中对改进的腐蚀模型给出有限差分算法,由每一时刻溶液在具体位置的浓度值得出扩散系数,再由Topography模型计算前端面的...
关键词：牺牲层腐蚀 扩散系数 扩散方程 差分算法 
牺牲层腐蚀二维数值模拟与仿真被引量：1
《Journal of Semiconductors》2006年第7期1321-1325,共5页李艳辉 李伟华 
国家杰出青年科学基金资助项目(批准号:50325519)~~
建立了基于扩散方程的二维腐蚀模型,并给出相应的边界条件.为求解二维扩散方程,分别给出了有限差分显式和隐式求解算法.得到了每一时刻溶液在具体位置的浓度值,再由Topography模型计算腐蚀前端面的腐蚀情况得到腐蚀前端行进轮廓线.编程...
关键词：牺牲层腐蚀 扩散方程 差分算法 
基于二维扩散方程的牺牲层腐蚀模拟与仿真被引量：1
《固体电子学研究与进展》2006年第2期269-272,278,共5页李艳辉 李伟华 周再发 
国家杰出青年科学基金资助课题(50325519)
深入研究了牺牲层腐蚀机制,给出了可以在二维平面中模拟腐蚀过程的仿真程序。由于腐蚀主要由腐蚀溶液的扩散机制所影响,对溶液的二维扩散方程给出了求解的有限差分算法,得到了在具体时间和位置的浓度,再利用T opography模型计算腐蚀前...
关键词：牺牲层腐蚀 二维扩散方程 求解算法 Topography模型 
影响牺牲层腐蚀速率的因素研究被引量：3
《传感技术学报》2006年第3期588-592,共5页吴昌聚 马慧莲 金仲和 丁纯 王跃林 
国家自然科学基金资助(60476033);国家高技术研究发展计划资助(2003AA404012;2005AA404240)
精确预测腐蚀速率对于避免过腐蚀和节省时间,从而提高MEMS器件加工的效率具重大意义。通过改变牺牲层材料、腐蚀液浓度、温度和牺牲层结构来改变腐蚀速率是常用的方法。在前人腐蚀模型基础上考虑扩散系数是浓度和温度的函数,腐蚀速率常...
关键词：MEMS 腐蚀速率 牺牲层腐蚀 
纳米厚度牺牲层腐蚀速率研究被引量：3
《传感技术学报》2006年第2期277-280,共4页吴昌聚 马慧莲 金仲和 王跃林 
国家自然科学基金项目资助(60476033);国家高技术研究发展计划863项目资助(2003AA404012;2005AA404240)
通过大量的实验研究,建立了一套纳米量级牺牲层腐蚀行为的实验研究方法。对牺牲层厚度对腐蚀速率的影响进行了详细地研究,并得到了如下结论当牺牲层厚度达到微米量级时,其腐蚀速率随着牺牲层厚度的增大而加快,但当其达到纳米量级时,由...
关键词：纳米厚度 牺牲层腐蚀 EDL效应 腐蚀速率 
Bubble结构牺牲层腐蚀的一种改进模型被引量：1
《Journal of Semiconductors》2006年第1期183-187,共5页吴昌聚 马慧莲 金仲和 王跃林 
国家自然科学基金(批准号:60476033);国家高技术研究发展计划(批准号:2003AA404012;2005AA404240)资助项目~~
以往的牺牲层腐蚀模型把扩散系数看作是常数,然而,实验结果和以往模型的计算结果在腐蚀开始一段较短的时间内吻合较好,但随着腐蚀时间的变长两者的差异越来越明显.为了解释这一现象并使模型能够较好地预测腐蚀过程,提出了腐蚀模型应该...
关键词：MEMS 牺牲层腐蚀 腐蚀速率常数 扩散系数 
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