蒋文涛

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：南京邮电大学电子科学与工程学院更多>>
发文主题：计算机模拟牺牲层腐蚀牺牲层MEMS仿真模型更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《微电子学》更多>>
所获基金：江苏省自然科学基金江苏省高校自然科学研究项目更多>>
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MEMS刻蚀工艺仿真模型及研究进展
《微电子学》2015年第5期661-665,共5页蒋文涛 方玉明 俞佳佳 王德波 夏晓娟 
江苏省普通高校专业学位研究生科研实践计划(SJLX_0372);江苏省自然科学基金资助项目(BK20131380);江苏省高校自然科学研究面上项目(14KJB510025)
随着计算机技术和微机电系统发展的需要,微加工刻蚀工艺的计算机模拟得到了飞速发展。综述了微加工刻蚀工艺的研究现状以及几种典型的工艺刻蚀仿真方法,分析了各种方法的优势和不足;重点介绍了在基于各向异性刻蚀方面应用广泛的元胞自...
关键词：MEMS 刻蚀工艺 工艺仿真 元胞自动机 
牺牲层二维腐蚀修正模型的研究被引量：1
《传感技术学报》2015年第6期809-813,共5页俞佳佳 方玉明 蒋文涛 吉新村 
江苏省普通高校专业学位研究生科研实践计划项目(SJLX_0372);江苏省自然科学基金项目(BK20131380;BK20130880)
针对氢氟酸腐蚀氧化硅,深入研究了牺牲层腐蚀的原理。牺牲层腐蚀主要受扩散机制影响。把二维扩散方程中的扩散系数看作溶液浓度和温度的函数,建立了二维腐蚀修正模型。利用有限差分算法求解扩散方程,并使用C语言编程实现了对单开口、内...
关键词：牺牲层腐蚀 二维腐蚀模型 扩散系数 计算机模拟 
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