硅基光导波结构的特性研究  

作　　者：祖继锋[1,2,3] 马忠礼 余宽豪[1,2,3] 陈学良 耿完桢[1,2,3] 

机构地区：[1]辽宁师范大学物理系 [2]中国科学院上海冶金研究所微电子学分部 [3]哈尔滨工业大学应用物理系

出　　处：《光学学报》1998年第6期808-812,共5页Acta Optica Sinica

基　　金：辽宁省科委博士基金;国家科委863高科技项目

摘　　要：研究了在硅基底上采用等离子增强化学汽相淀积（ＰＥＣＶＤ）氮氧化硅（ＳｉＯＮ）所形成的包括通道波导、条波导、倒脊型波导等多种结构的特性。通过对测试结果进一步分析，总结出有关结论并提出一些改进方法。

关 键 词：光波导 硅基底 氮氧化硅 集成光学 光电子集成 

分 类 号：TN252[电子电信—物理电子学]