云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 陈学良

陈学良: 作品数：12被引量：17H指数：3; 导出分析报告; 供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>; 发文主题：掺杂双极型硅SI集成电感更多>>; 发文领域：电子电信电气工程理学机械工程更多>>; 发文期刊：《半导体技术》《核技术》《半导体光电》《光学学报》更多>>; 所获基金：博士科研启动基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>

A Novel Lateral Solenoidal On-Chip Integrated Inductor Implemented in Conventional Si Process被引量：1: 《Journal of Semiconductors》2002年第4期352-365,共14页刘畅陈学良严金龙顾伟东; A new structure of the on- chip integrated inductors im plem ented in conventional Si process is presented as a lateral solenoid.The fabrication process utilizes a conventional Si technology with standard double- lay...; 关键词：integrated inductor solenoidal inductor spiral inductor quality factor

一种提高硅集成电感Q值的方法被引量：3: 《功能材料与器件学报》2002年第1期1-4,共4页刘畅陈学良严金龙; 设计和制作了硅集成电感,采用常规的硅工艺,在衬底形成间隔的pn结隔离来减少硅衬底的涡流损耗。实验测量了硅集成电感的S参数并研究了衬底结隔离对硅集成电感的电感量和品质因素(Q)的影响。结果表明一定深度的衬底结隔离能有效地使电感...; 关键词：硅集成电感 Q值涡流品质因数电感量

Novel Substrate pn Junction Isolation for RF Integrated Inductors on Silicon被引量：5: 《Journal of Semiconductors》2001年第12期1486-1489,共4页刘畅陈学良严金龙; A new method for reducing the substrate rated losses of integrated spiral inductors is presented.The method is to block the eddy currents induced by spiral inductors by directly forming pn junction isolation in the S...; 关键词：Si integrated inductor quality factor eddy current pn junction isolation

混合型集成光学拾音器的结构设计被引量：1: 《光学学报》2000年第3期395-399,共5页杨立新李东宏陈学良卢志红杨易沈德芳陈国明; 采用光学追踪法计算了圆锥光线入射到棱镜中的轨迹 ,并对计算结果进行了实验验证 ,实验结果与计算结果相一致。; 关键词：混合型集成光学拾音器光学追踪光盘

利用离子束技术及PECVD制备碳化硅被引量：2: 《核技术》1998年第9期519-524,共6页陈长清任琮欣杨立新严金龙郑志宏周祖尧陈平柳襄怀陈学良; 阐述利用离子注入、离子束增强沉积、反应离子束溅射及反应离子束辅助沉积等方法制备碳化硅薄膜的实验结果，并报道利用等离子体增强化学气相沉积技术制备可光致发光的非晶态α－ＳｉＣ：Ｈ薄膜的工作。; 关键词：离子束增强沉积晶态碳化硅 PECVD

硅基光导波结构的特性研究: 《光学学报》1998年第6期808-812,共5页祖继锋马忠礼余宽豪陈学良耿完桢; 辽宁省科委博士基金;国家科委863高科技项目; 研究了在硅基底上采用等离子增强化学汽相淀积（ＰＥＣＶＤ）氮氧化硅（ＳｉＯＮ）所形成的包括通道波导、条波导、倒脊型波导等多种结构的特性。通过对测试结果进一步分析，总结出有关结论并提出一些改进方法。; 关键词：光波导硅基底氮氧化硅集成光学光电子集成

光盘光学拾音器技术的现状与发展: 《半导体光电》1997年第6期363-369,390,共8页杨立新陈长清杨易陈学良沈德芳陈国明; 阐述了光盘的光学聚焦伺服、循迹伺服和光信息拾取原理，介绍了由分立元件、全息光学元件、光电混合集成和单片集成等所构成多种光学拾音器的结构。; 关键词：光学拾音器全息光学元件 CD LD VCD

快速热处理技术在集成电路制造上的应用被引量：1: 《半导体技术》1997年第6期34-36,共3页何德湛陈学良朱培青李东宏; 主要介绍快速热处理（ＲＴＰ）技术［１］，包括在高速双极ＩＣ的快速热退火（ＲＴＡ）［２］、Ｔｉ金属与Ｓｉ形成低阻的ＴｉＳｉ２接触同时，其上表面形成防止Ａｌ往Ｓｉ中渗透的阻挡层ＴｉＮ的ＲＴＰ。; 关键词：快速热处理集成电路制造工艺

硅双极型高速工艺和与其相容的硅PIN探测器被引量：3: 《半导体光电》1995年第3期265-268,共4页余宽豪刘毓成陈学良; 文章描述硅双极高速工艺，和一种能与双极工艺相容的硅ＰＩＮ探测器的结构及设计，从而提出一套易于实现两者集成的相容工艺。研制的单片集成光接收机，其中硅ＰＩＮ探测器的光电响应为０．４３Ａ／Ｗ，整机的响应度为４．４×１０３Ｖ...; 关键词：光电子集成电路双极晶体管探测器硅

单片集成透镜高速1×4InGaAs/InPpin探测器阵列研究被引量：1: 《红外与毫米波学报》1994年第5期364-368,共5页肖德元任琮欣陈学良; 中国科学院上海冶金研究所青年科学基金资助项目; 设计并制作了带有集成透镜的1×4 InGaAs/InP pin探测器阵列.对器件纵向和横向结构参数及集成InP透镜几何参数进行了模拟设计与优化.器件带宽达1.0GHz,对宽带波分复用、光互连以及光计算网络有重要应用价值.; 关键词：探测器阵列集成透镜磷化铟 INGAAS

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