周祖尧

作品数：34被引量：39H指数：3
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供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：离子注入硅离子束离子束增强沉积SI更多>>
发文领域：电子电信理学医药卫生一般工业技术更多>>
发文期刊：《微电子学》《高技术通讯》《核技术》《微电子学与计算机》更多>>
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利用离子束技术及PECVD制备碳化硅被引量：2
《核技术》1998年第9期519-524,共6页陈长清 任琮欣 杨立新 严金龙 郑志宏 周祖尧 陈平 柳襄怀 陈学良 
阐述利用离子注入、离子束增强沉积、反应离子束溅射及反应离子束辅助沉积等方法制备碳化硅薄膜的实验结果，并报道利用等离子体增强化学气相沉积技术制备可光致发光的非晶态α－ＳｉＣ：Ｈ薄膜的工作。
关键词：离子束增强沉积 晶态 碳化硅 PECVD 
叠加能量Si^+、N^+共注入SiO_2薄膜的光致发光
《功能材料与器件学报》1998年第3期198-202,共5页赵俊 杨根庆 丁星肇 林梓鑫 江炳尧 周祖尧 柳襄怀 
报道了用叠加能量Ｓｉ＋、Ｎ＋共注入ＳｉＯ２薄膜研究硅基发光材料。Ｓｉ＋、Ｎ＋先后注入ＳｉＯ２薄膜，并在衬底中重叠。样品退火后在紫外光激发下，可以观察到很强的紫外（～３４０ｎｍ）和紫色（～４２７ｎｍ）光致发光（ＰＬ）。...
关键词：光致发光 叠加能量 离子注入 硅基发光材料 
硅中氦氧共注入纳米孔氧化埋层的研究
《功能材料与器件学报》1998年第1期13-18,共6页张苗 多新中 林梓鑫 周祖尧 林成鲁 
中国科学院九五基础性研究重点项目;国家自然科学基金
将１×１０１７／ｃｍ２的氦离子以３５ｋｅＶ的能量注入到单晶硅中，在硅表层下面形成纳米空腔。将１×１０１７／ｃｍ２的氧离子注入到空腔层的下方。用ＲＢＳ／Ｃ、ＳＲＰ及ＸＴＥＭ等测试手段对样品进行研究。结果表明，纳米空腔对...
关键词：离子注入 纳米空腔 SOI 氦 氧化埋层 
Co_xAg_(100-x)颗粒膜的巨磁电阻效应及其物理机制研究被引量：5
《功能材料与器件学报》1998年第1期41-46,共6页严健生 沈鸿烈 沈勤我 周祖尧 邹世昌 
上海市应用材料研究发展基金
用超高真空电子束蒸发沉积方法制备了ＣｏｘＡｇ１００－ｘ颗粒并研究了其中的巨磁电阻（ＧＭＲ）效应。实验结果表明：１５ｋＯｅ外磁场下，玻璃衬底上制备态Ｃｏ３９Ａｇ６１颗粒膜室温ＧＭＲ效应值高达２０２％，并随氮气中退火温...
关键词：颗粒膜 巨磁电阻效应 电子束蒸发 
C^+注入SiO_2薄膜的蓝光发射
《科学通报》1997年第23期2575-2576,共2页赵俊 杨根庆 林梓鑫 江炳尧 周祖尧 柳襄怀 
上海市发展基金资助项目
自从发现多孔硅室温发射可见光现象以来,硅基纳米结构第Ⅳ族半导体发光研究引起了广泛关注。这不仅可以使传统的、成熟的硅平面工艺直接应用于光电器件中去,而且为介观系统新现象、新规律研究提供了一个理想的研究体系。
关键词：二氧化硅 薄膜 蓝光发射 离子注入 半导体 
离子束合成Ti-O薄膜对热解碳生物材料表面改性的研究被引量：15
《中国生物医学工程学报》1997年第3期199-205,共7页黄楠 杨萍 曾晓兰 刘志农 柳襄怀 张峰 郑志宏 周祖尧 奚廷斐 田文华 王春仁 雷学会 
采用离子束增强沉积在低温各向同性热解碳表面进行了Ｔｉ－Ｏ薄膜合成研究，获得了化学计量比及非化学计量比的ＴｉＯ２薄膜，采用动态凝血时间测定、血小板粘附行为研究、全血动态接触研究、溶血率测定等方法进行了血液相容性评价，用...
关键词：离子束 热解碳 生物材料 血液相容性 
离子束增强沉积钛氧化物薄膜及其抗凝血性能研究
《高技术通讯》1997年第4期16-18,共3页黄楠 杨萍 曾晓兰 陈元儒 柳襄怀 周祖尧 郑志宏 肖静 薛振南 
国家自然科学基金;上海市科学基金;中国科学院上海冶金研究所资助
首次采用离子束增强沉积技术对钛基生物材料表面进行了Ti－O薄膜系统合成研究，获得了离子束合成参数—薄膜成分、结构—表面物理性质—抗凝血性能的相互关系，合成的非晶Ti－O薄膜具有超过热解碳的优异的抗凝血性能。
关键词：离子束 生物材料 抗凝血性能 增强 沉积技术 
氮离子注入金刚石薄膜的研究
《中国科学（E辑）》1997年第3期211-217,共7页辛火平 林成鲁 王建新 邹世昌 石晓红 林梓鑫 周祖尧 刘祖刚 
采用Raman光谱、四探针法、X射线衍射(XRD)、Rutherford背散射谱(RBS)、Fourier变换红外吸收光谱(FTIR)和X射线光电子能谱(XPS)等手段研究了不同能量不同剂量的N^+注入对CVD金刚石膜的结构和电学性质的影响.
关键词：氮离子注入 金刚石薄膜 RAMAN光谱 电学性质 
真空磁过滤弧沉积碳氮薄膜的研究被引量：1
《功能材料与器件学报》1997年第1期72-76,共5页陈智颖 俞跃辉 赵建平 王曦 周祖尧 杨石奇 柳襄怀 施天生 
国家自然科学基金
本文采用真空磁过滤弧沉积技术，在Ｓｉ（１１１）、石英及Ｔｉ／Ｃ衬底上制备得到非晶碳氮（ＣＮｘ）薄膜。采用卢瑟福背散射分析对薄膜的面密度及Ｎ含量进行定量计算。用紫外－可见透射光谱与红外反射光谱研究了薄膜的光学性能。结果...
关键词：光学性能 碳氮薄膜 薄膜 FAD 弧源沉积 
叠加能量C^+注入SiO_2薄膜的光致发光特性
《功能材料与器件学报》1997年第1期12-16,共5页赵俊 杨根庆 江炳尧 林梓鑫 周祖尧 柳襄怀 
首次采用叠加能量离子注入技术制备Ｃ＋注入ＳｉＯ２薄膜样品，室温下观测到很强的蓝光发射。通过测量样品的光致发光（ＰＬ）谱对退火条件的依赖关系，研究了样品的发光特性。对发光机制进行了初步探讨。
关键词：离子注入 发光材料 二氧化硅 薄膜 光致发光 
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