赵建平

作品数：4被引量：8H指数：2
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供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：性能研究FAD非晶金刚石薄膜非晶金刚石薄膜更多>>
发文领域：理学一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《功能材料与器件学报》《物理学报》更多>>
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非晶金刚石薄膜的场致电子发射性能研究被引量：2
《物理学报》1997年第7期1444-1448,共5页赵建平 王曦 陈智颖 杨石奇 柳襄怀 施天生 
国家自然科学基金
利用真空磁过滤弧沉积技术制备出一种高ｓｐ３含量的非晶碳膜———非晶金刚石薄膜，并对这种非晶金刚石薄膜的场电子发射特性及其发射机理进行了研究．实验结果表明，在阈值电场低于２０Ｖ／μｍ情况下，得到的场发射电流达２０—４０...
关键词：非晶 金刚石薄膜 场致电子发射 薄膜 
FAD非晶金刚石薄膜的场电子发射性能研究
《中国科学（E辑）》1997年第3期218-223,共6页赵建平 王曦 陈智颖 杨石奇 柳襄怀 施天生 
国家自然科学基金资助项目
利用真空磁过滤弧沉积(FAD)技术制备得到了无氢的非晶碳膜.由于非晶碳膜中数量极高的四面体键(sp^3键)的存在,这种非晶碳膜也可被称作非晶金刚石薄膜.报道了这种非晶金刚石膜的场电子发射特性,并对其能带结构和发射机理进行了研究.实验...
关键词：真空磁过滤弧 非晶 金刚石薄膜 场电子发射 
非晶金刚石薄膜的制备及其性能研究被引量：5
《功能材料与器件学报》1997年第1期67-71,共5页赵建平 王曦 陈智颖 杨石奇 柳襄怀 施天生 
国家自然科学基金
本文利用一种新的等离子体沉积技术—真空磁过滤弧沉积（ＦＡＤ）制备得到一种无氢的非晶碳膜。ＥＥＬＳ分析表明，这种非晶碳膜几乎不含有ｓｐ２和ｓｐ杂化键，呈现出高度的金刚石特征，以致可以被称为非晶金刚石（ａＤ）膜。应用紫...
关键词：FAD 非晶金刚石 薄膜 弧源沉积 
真空磁过滤弧沉积碳氮薄膜的研究被引量：1
《功能材料与器件学报》1997年第1期72-76,共5页陈智颖 俞跃辉 赵建平 王曦 周祖尧 杨石奇 柳襄怀 施天生 
国家自然科学基金
本文采用真空磁过滤弧沉积技术，在Ｓｉ（１１１）、石英及Ｔｉ／Ｃ衬底上制备得到非晶碳氮（ＣＮｘ）薄膜。采用卢瑟福背散射分析对薄膜的面密度及Ｎ含量进行定量计算。用紫外－可见透射光谱与红外反射光谱研究了薄膜的光学性能。结果...
关键词：光学性能 碳氮薄膜 薄膜 FAD 弧源沉积 
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