微机械加速度开关动态特性分析  

Dynamic Characteristic Analysis of Micromachined Acceleration Switch

作　　者：王洋[1] 商顺昌 任思聪[2] 

机构地区：[1]中国工程物理研究院,成都517信箱32610003 [2]西北工业大学

出　　处：《传感技术学报》1998年第4期46-50,共5页Chinese Journal of Sensors and Actuators

摘　　要：本文通过建立微机械加速度开关检测质量运动微分方程,利用数值分析方法对开关动态特性进行了分析,从而为微机械加速度开关的动态设计提供了理论依据.Abstract The moving differential equation of the proof mass of a acceleration switch is de-scribed. By means of numerical method, the paper analyzes the dynamic characteristic ofthe switch.

关 键 词：微机械 加速度开关 微分方程 微机械加工 

分 类 号：TG669[金属学及工艺—金属切削加工及机床] TH824.403[机械工程—仪器科学与技术]