SUSS MicroTec公司进一步巩固其光刻设备在技术和市场上的领先地位  

出　　处：《电子工业专用设备》2010年第12期57-57,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：SUSS MicroTec AG的全资子公司HamaTech APE GmbH ＆ Co．KG宣布，已接到几十份MaskTrack Pro设备订单。MaskTrack Pro于2009年投产，是用于下一代光刻领域的完整掩模流程平台。

关 键 词：光刻设备 市场 技术 下一代光刻 GmbH APE 掩模 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]