高性能MEMS意味着什么?  

What Does High Performance MEMS Mean?

机构地区：[1]ADI公司

出　　处：《世界电子元器件》2012年第9期44-51,共8页Global Electronics China

摘　　要：“裔陛能MEMS到底是什么？”。首先，回顾ADIMEMS是如何定义一些主要规格的。然后，简单看一下基于加速度计的倾斜检测及相关主要规格，接着通过余下的讨论介绍自主机器人示例。接下来将更具体地说明陀螺仪规格，同时细致分析各种误差源、表征技巧以及各种情况的考虑因素。接着将讨论惯性测量单元（IMU），也就是各种传感器的组合，包括但不必限于加速度计和陀螺仪。然后是IMU的其他相关考虑点，最后将简短总结一些优质产品的性能。

关 键 词：MEMS 性能 惯性测量单元 加速度计 自主机器人 倾斜检测 优质产品 陀螺仪 

分 类 号：TP242.6[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]