中芯国际启动28nm新工艺  

出　　处：《中国集成电路》2014年第3期2-2,共1页China lntegrated Circuit

摘　　要：中芯国际近日宣布，公司正式进入28nm工艺时代。公司表示，启动28nm新工艺后，公司将可为全球集成电路设计商提供包含28nm多晶硅（Poly—SiON）和28nm高介电常数金属栅（HKMG）在内的多项目晶圆（MPW）服务。

关 键 词：工艺 国际 集成电路设计 多项目晶圆 高介电常数 金属栅 多晶硅 

分 类 号：TN402[电子电信—微电子学与固体电子学]