SilexMicrosystems公司参与PROMINENT项目  

出　　处：《微纳电子技术》2014年第4期272-272,共1页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：SilexMicrosystems公司参与了ENIAC的PROMINENT项目，研发用于晶圆与晶圆键合、压电MEMS制造和其他功能材料加工的低成本新技术，如晶片通孔、高气密性真空封装和材料沉积等。

关 键 词：材料加工 MEMS 真空封装 新技术 低成本 气密性 晶圆 通孔 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]