基于微石英晶振的静电力显微镜的设计  

Design of an Electrostatic Force Microscope (EFM) with a Micro-Quartz-Tuning-Fork

作　　者：郭文明[1] 张鸿海[1] 王志勇[1] 汪学方[1] 

机构地区：[1]华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉430074

出　　处：《武汉理工大学学报（信息与管理工程版）》2001年第4期27-29,共3页Journal of Wuhan University of Technology：Information & Management Engineering

基　　金：教育部高等学校博士学科点专项科研基金资助项目 (970 4870 7)

摘　　要：描述了一种用于检测样品表面电荷分布的静电力显微镜 (EFM)。利用谐振频率为 32 .76 8kHz的未封装微石英晶振作为微力传感器 ,它在逼近试件表面过程中 ,振动特性发生变化。通过检测振动幅值的变化 ,并经过信号处理来获得样品表面电荷分布的信息。在分析了EFM检测原理的基础上 ,设计了EFM系统。An Electrostatic Force Microscope (EFM) for testing surface charge distribution of a sample is described. A non capsulated micro quartz tuning fork of 32.7 Hz is used as a micro force sensor. The characteristics of vibration change when this sensor approaches the sample. The surface charge distribution can be obtained through measuring the change of vibration amplitudes and processing them. An EFM system is designed by analyzing the principle of the EFM.

关 键 词：静电力显微镜 微石英晶振 表面电荷分布 谐振频度 微力传感器 检测原理 纳米技术 

分 类 号：TM934.3[电气工程—电力电子与电力传动] TH742[机械工程—光学工程]