郭文明

作品数:3被引量:3H指数:1
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供职机构:华中科技大学更多>>
发文主题:石英晶振扫描探针显微镜微力传感器测量技术半导体更多>>
发文领域:电子电信电气工程机械工程更多>>
发文期刊:《武汉理工大学学报(信息与管理工程版)》《电子显微学报》更多>>
所获基金:国家教育部博士点基金更多>>
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基于微石英晶振的动态非接触静电力显微测量(EFM)技术被引量:1
《电子显微学报》2001年第5期664-668,共5页王志勇 鲍剑斌 张鸿海 郭文明 
在一台基于微晶振的原子力显微镜的基础上 ,通过在针式传感器前端细小针尖加入可调交流偏压 ,获得高分辨率动态非接触静电力显微镜。此装置可以分别利用微小针尖与样品间的范德华力与附加的可调静电力信号 ,同时获得样品表面微观形貌特...
关键词:扫描探针显微镜 静电力显微镜 石英晶振 微力传感器 微观形貌 电特性 
基于微石英晶振的静电力显微镜的设计
《武汉理工大学学报(信息与管理工程版)》2001年第4期27-29,共3页郭文明 张鸿海 王志勇 汪学方 
教育部高等学校博士学科点专项科研基金资助项目 (970 4870 7)
描述了一种用于检测样品表面电荷分布的静电力显微镜 (EFM)。利用谐振频率为 32 .76 8kHz的未封装微石英晶振作为微力传感器 ,它在逼近试件表面过程中 ,振动特性发生变化。通过检测振动幅值的变化 ,并经过信号处理来获得样品表面电荷分...
关键词:静电力显微镜 微石英晶振 表面电荷分布 谐振频度 微力传感器 检测原理 纳米技术 
扫描静电力显微镜及其电荷捕获/释放技术被引量:3
《电子显微学报》2001年第3期232-237,共6页王志勇 张鸿海 鲍剑斌 郭文明 汪学方 
介绍扫描静电力显微测量及用其实现电荷捕获释放的技术现状、发展动向 ,以及关键技术的一些最新成果。前者已被广泛应用于测量半导体表面电荷密度分布、表面电势以及铁电材料铁电体结构的研究中 ;后者可望用于研制速度和存贮容量都比现...
关键词:扫描探针显微镜 扫描力显微镜 静电力显微镜 电荷存储 捕获释放技术 扫描静电力显微镜 量子器件 测量技术 铁电材料 半导体 微晶振 
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