王志勇

作品数：11被引量：48H指数：3
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发文主题：移动台测量系统封装测试共面冷光源更多>>
发文领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术医药卫生更多>>
发文期刊：《半导体技术》《武汉理工大学学报（信息与管理工程版）》《电子显微学报》《现代机械》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
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应用于MEMS封装的TSV工艺研究被引量：11
《微纳电子技术》2012年第1期62-67,共6页王宇哲 汪学方 徐明海 吕植成 徐春林 胡畅 王志勇 刘胜 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2008AA04Z307)
开展了应用于微机电系统(MEMS)封装的硅通孔(TSV)工艺研究,分析了典型TSV的工艺,使用Bosch工艺干法刻蚀形成通孔,气体SF6和气体C4F8的流量分别为450和190 cm3/min,一个刻蚀周期内的刻蚀和保护时长分别为8和3 s;热氧化形成绝缘层;溅射50 ...
关键词：硅通孔(TSV) 微机电系统(MEMS)封装 Bosch工艺 刻蚀 电镀 
键合技术中键合胶残余应力检测的实验研究被引量：3
《机械科学与技术》2005年第6期736-739,共4页马斌 任继文 张鸿海 刘胜 汪学方 王志勇 
国家高技术研究发展计划"863"项目(2002AA430030)资助
通过检测受到键合胶残余应力影响的芯片表面的翘曲特征和力学特性,运用泰曼-格林干涉仪与力学实验机相结合,成功地分析了在采用粘胶键合中,粘胶硬化后残余应力对芯片的影响以及产生的原因,对键合胶的选择提出了科学的依据。本文对这种...
关键词：干涉法 翘曲 剪切 
胰岛素泵的研制被引量：3
《医疗卫生装备》2005年第2期1-3,共3页马斌 曾艳 杜佐华 甘志银 刘胜 张鸿海 王志勇 汪学方 
随着人民生活水平的不断提高,糖尿病的患者日益增多,胰岛素泵作为当今治疗糖尿病的最好手段之一,费用过高阻碍了它在国内的推广。华中科技大学微系统研究中心开发出具有自主知识产权的胰岛素泵,采用微处理器编程模拟人体胰腺分泌功能,...
关键词：糖尿病 胰岛素泵 控释 
MEMS封装技术及标准工艺研究被引量：17
《半导体技术》2005年第1期50-54,65,共6页关荣锋 汪学方 甘志银 王志勇 刘胜 张鸿海 黄德修 
国家"863"计划MEMS重大专项资助项目(2002AA430030)
分析了MEMS的特点及封装工艺对MEMS的影响,给出了对MEMS封装的基本要求。研究了MEMS封装工艺中的一些关键技术,即硅-硅和硅-玻璃键合技术、清洗与引线键合技术、焊料贴片和胶粘技术以及气密封帽技术等,并给出了一些重要的研究结果。同...
关键词：MEMS封装大才疏 金-硅键合 贴片 引线键合 封帽 
采用五步相移技术对硅片表面翘曲形变的检测被引量：3
《机床与液压》2004年第12期181-182,80,共3页马斌 张鸿海 刘胜 汪学方 王志勇 
MOST Hig hTechnology Program资助
为了精确检测硅片表面的纳米级翘曲特征 ,使用泰曼 -格林干涉仪与图象处理技术相结合 ,采用五步相移算法 ,将检测的精度提高到λ/ 2 0 ,达到纳米级。本文对这种方法进行了理论分析和实验验证。
关键词：干涉法 五步相移法 纳米级翘曲 数字图象处理 
一种用于MEMS样品测试的六轴微力传感器被引量：2
《现代机械》2004年第1期15-16,共2页杨宏亮 鲍剑斌 王志勇 贺德建 
本文研制了一种用于MEMS样品测试的六轴微力传感器。首先采用有限元法对特定结构的传感器进行了静力学分析 ,确定了其布片方案 ;然后通过软件实现对传感器输出进行六轴力 /力矩的解耦 ,这大大简化了后置解耦电路的设计并降低了成本 ;最...
关键词：六轴微力传感器 MEMS 有限元 静力学 六轴力/力矩传感器 解耦 标定曲线 
MEMS圆片级气密封装微加热器阵列的设计和工艺研究被引量：2
《微纳电子技术》2003年第7期249-250,共2页陈四海 陈明祥 易新建 刘胜 张鸿海 黄竹邻 汪学芳 王志勇 
设计了 5 0 0× 5 0 0个微加热器阵列 ,加热线条宽度分别为 5 μm ,7μm ,9μm。采用离子束溅射、光刻、湿法腐蚀等工艺 ,在Si衬底上制作了微加热器 ,加热层材料为Ni/Cr ,Au ,厚度分别为4 0 0nm ,2 0 0nm。采用直流电源对加热器进行供...
关键词：MEMS 圆片级气密封装 微加热器 微电子封装 
一种用于MEMS检测的无耦合六维力传感器的研制被引量：4
《微纳电子技术》2003年第7期503-505,511,共4页贺德建 张鸿海 刘胜 汪学方 王志勇 
国家 8 63高技术发展研究计划资助项目 (2 0 0 2AA40 44 3 0 )
提出了一种用于MEMS检测试验平台中力学量测量的无耦合六维力 /力矩传感器的设计。对传感器的结构形式、测量原理作了介绍 ,进行了试验验证并给出了从 8路输出电压到六维力 /力矩的传递矩阵。该传感器通过采用巧妙的结构形式和特定的电...
关键词：MEMS检测 六维力传感器 传递矩阵 微机电系统 工作原理 
基于微石英晶振的动态非接触静电力显微测量(EFM)技术被引量：1
《电子显微学报》2001年第5期664-668,共5页王志勇 鲍剑斌 张鸿海 郭文明 
在一台基于微晶振的原子力显微镜的基础上 ,通过在针式传感器前端细小针尖加入可调交流偏压 ,获得高分辨率动态非接触静电力显微镜。此装置可以分别利用微小针尖与样品间的范德华力与附加的可调静电力信号 ,同时获得样品表面微观形貌特...
关键词：扫描探针显微镜 静电力显微镜 石英晶振 微力传感器 微观形貌 电特性 
基于微石英晶振的静电力显微镜的设计
《武汉理工大学学报（信息与管理工程版）》2001年第4期27-29,共3页郭文明 张鸿海 王志勇 汪学方 
教育部高等学校博士学科点专项科研基金资助项目 (970 4870 7)
描述了一种用于检测样品表面电荷分布的静电力显微镜 (EFM)。利用谐振频率为 32 .76 8kHz的未封装微石英晶振作为微力传感器 ,它在逼近试件表面过程中 ,振动特性发生变化。通过检测振动幅值的变化 ,并经过信号处理来获得样品表面电荷分...
关键词：静电力显微镜 微石英晶振 表面电荷分布 谐振频度 微力传感器 检测原理 纳米技术 
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