贺德建

作品数：2被引量：6H指数：2
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发文主题：工作台刻蚀模压微机械数控工作台更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程一般工业技术更多>>
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一种用于MEMS样品测试的六轴微力传感器被引量：2
《现代机械》2004年第1期15-16,共2页杨宏亮 鲍剑斌 王志勇 贺德建 
本文研制了一种用于MEMS样品测试的六轴微力传感器。首先采用有限元法对特定结构的传感器进行了静力学分析 ,确定了其布片方案 ;然后通过软件实现对传感器输出进行六轴力 /力矩的解耦 ,这大大简化了后置解耦电路的设计并降低了成本 ;最...
关键词：六轴微力传感器 MEMS 有限元 静力学 六轴力/力矩传感器 解耦 标定曲线 
一种用于MEMS检测的无耦合六维力传感器的研制被引量：4
《微纳电子技术》2003年第7期503-505,511,共4页贺德建 张鸿海 刘胜 汪学方 王志勇 
国家 8 63高技术发展研究计划资助项目 (2 0 0 2AA40 44 3 0 )
提出了一种用于MEMS检测试验平台中力学量测量的无耦合六维力 /力矩传感器的设计。对传感器的结构形式、测量原理作了介绍 ,进行了试验验证并给出了从 8路输出电压到六维力 /力矩的传递矩阵。该传感器通过采用巧妙的结构形式和特定的电...
关键词：MEMS检测 六维力传感器 传递矩阵 微机电系统 工作原理 
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