微机械加工技术在微传感器中的应用  

Application of Micromachining Technology in Micro-sensors

作　　者：胡明[1] 马家志[1] 邹俊[1] 张之圣[1] 

机构地区：[1]天津大学电子信息工程学院,天津300072

出　　处：《压电与声光》2002年第4期268-270,302,共4页Piezoelectrics & Acoustooptics

摘　　要：随着微传感器的广泛应用 ,微机械加工技术被越来越多地应用于传感器的制造工艺中。从微机械加工技术的关键工艺入手 ,分别对体微机械加工技术和表面微机械加工技术加以介绍 。With the wide application of micro sensors,micromachining technology is more and more used in manufacture for micro sensors.The key processes of bulk micromachining and surface micromachining are introduced,and two micro sensors using the above technologies are presented respectively.

关 键 词：微机械加工技术 微传感器 微电子机械系统 MEMS 各向异性腐蚀 多晶硅 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]