基于固高平台的宏微两级精密定位系统  

作　　者：梁学佳 葛红宇[1] 张博[1] 范伟[1] 郭玉明[1] 

机构地区：[1]南京工程学院自动化学院

出　　处：《中国科技信息》2015年第13期119-121,共3页China Science and Technology Information

基　　金：江苏省高校科研成果产业化推进项目(JHZD2012-5);全国大学生实践创新训练计划项目(201311276018Z)

摘　　要：精密、超精密以及纳米定位平台及其控制技术是微机电系统、微细加工、微操作与微装配、超大规模集成电路、精密、超精密加工及精密测量等领域的关键技术，定位过程中的大行程、高分辨、高精度、强实时等要求是其亟待解决的问题。

关 键 词：定位平台 精密定位系统 超大规模集成电路 超精密加工 控制技术 微机电系统 微细加工 精密测量 

分 类 号：TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]