新加坡科学技术研究院开发出可用于光学器件批量生产的混合硅激光器  

作　　者：赵博 

出　　处：《电子与封装》2017年第6期40-40,共1页Electronics & Packaging

摘　　要：在硅晶圆上生产半导体激光器一直以来是半导体行业的目标,这种制造工艺向来极具挑战性。近日,新加坡科学技术研究院A＊STAR开发出一种新颖的制造方法,成本低廉、过程简便且可扩展性强。该混合硅激光器将III-V族半导体（如砷化镓和磷化铟）的发光特性与当前成熟的硅制造技术完美结合起来,可以将光子和微电子元件集成在单一硅芯片之中，从而获得价格低廉、可大批量生产的光学器件。

关 键 词：科学技术研究院 光学器件 硅晶圆 微电子元件 磷化铟 硅芯片 批量生产 制造技术 制造工艺 光特性 

分 类 号：TN248.4[电子电信—物理电子学]