硅基环栅晶体管和隧穿晶体管研究进展综述  

作　　者：李佳伟 韩可[1] 龙尚林 

机构地区：[1]北京邮电大学电子工程学院

出　　处：《中国集成电路》2020年第12期26-28,共3页China lntegrated Circuit

摘　　要：随着特征尺寸的不断减小,晶体管的性能面临着许多挑战。本文通过分析当前晶体管发展面临的问题,探究了晶体管的发展现状,并介绍了针对当前技术难点的环栅和隧穿晶体管的结构改进方案。

关 键 词：晶体管 硅基 环栅 隧穿 亚阈值特性 

分 类 号：TN386[电子电信—物理电子学]